投資50.6億!全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線即將批量生產……
作為全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線
安徽華鑫微納集成電路有限公司
8英寸晶圓生產線
于今年五月份
完成首批產品成功串線后
加快產品研發

安徽華鑫微納集成電路有限公司主要從事MEMS晶圓制造,可加工產品涵蓋慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS器件等,主要應用于高端裝備、汽車電子等領域。8英寸晶圓生產線項目是全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線、全國首條工藝設備配套齊全的壓電MEMS量產線。全部建成投產后,將具備月產3萬片晶圓的能力,成為國內產出最大的MEMS晶圓生產線。

華鑫微納項目相關負責人表示,項目目前已經完成所有設備的進場和安裝 目前正在處于11款主要產品的工藝調試,預計在9月底之前會進入批量生產階段。

華鑫微納8英寸MEMS晶圓生產線位于中國傳感谷D區,建設投資50.6億元,用地面積約154畝,總建筑面積8.7萬平方米,定位為國內領先的8英寸MEMS晶圓代工企業以及國內領先的“開放式、定制化MEMS代工平臺基地”。這意味著,智能傳感器的核心部件——MEMS芯片,將在蚌埠生產并向全球的智能傳感器企業供貨,為整個產業鏈安全提供有力支撐。

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